凭借可靠的性能、多种的控制方式、低运维成本,清洁耐腐蚀,采用高速型多级无油变螺距转子,可对多种工况下的真空系统进行清洁抽空。多路吹扫,气、液监控、变频控制等功能,让运行更加可靠,性能更加稳定。广泛应用于半导体、锂电、光伏等领域。
VSP系列包含多个型号,满足不同抽速和功率需求,以下是详细技术规格。
| 型号 | 抽气速率 (m³/h) | 极限真空 (Pa) | 气体吹扫-流量 (SLM) | 气体吹扫-压力(MPa) | 电机功率 (kW) | 进气/排气接口 | 水汽处理量 (g/h) | 冷却方式 | 噪音(dBA) | 重量(kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VSP8 | 8 | 3 | 0-100 | 0.04-0.07 | 1.8 | KF25/16 | 135 | 风冷 | 62 | 38 |
| VSP20 | 20 | 3 | 0-100 | 0.04-0.07 | 1.8 | KF25 | 200 | 风冷 | 62 | 48 |
| VSP40 | 32 | 3 | 0-100 | 0.04-0.07 | 1.8 | KF25 | 200 | 风冷 | 65 | 48 |
| VSP60 | 50 | 3 | 0-100 | 0.04-0.07 | 2.2 | KF40/KF25 | 250 | 风冷 | 65 | 75 |
| VSP80 | 80 | 1 | 3.0 | KF40 | 水冷 | 65 | 209 |
| 型号 | 抽气速率 (m³/h) | 极限真空 (Pa) | 电机功率 (kW) | 噪音(dBA) | 重量(kg) | 冷却方式 | 冷却水-流量(L/h) | 冷却水-供给压力(mbar) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VSP80 | 80 | 1 | 3 | 65 | 209 | 水冷 | 180(15℃)-420(30℃) | 2000-4000 |
| VSP100 | 100 | 1 | 3 | 65 | 209 | 水冷 | 180(15℃)-420(30℃) | 2000-4000 |
| VSP200 | 210 | 1 | 5.5 | 68 | 400 | 水冷 | 180(15℃)-420(30℃) | 2000-4000 |
| VSP300 | 300 | 1 | 7.5 | 68 | 450 | 水冷 | 180(15℃)-420(30℃) | 2000-4000 |