ULVAC爱发科干式真空泵 NRL系列

NRL 系列提供 NRL60A、NRL90A、NRL180A 三款型号，额定抽速覆盖 70‑200 m³/h（50Hz）， 极限压力可达 5 Pa。 该系列采用无油干式设计，零部件经过高硬度防腐蚀表面处理，对腐蚀性气体具备优异的耐受性。选型主要看以下 3 个维度：

• 所需抽速与极限压力：根据用气设备的抽速和极限压力要求选择对应型号。 NRL60A（70 m³/h，极限 5 Pa）适合小流量、洁净真空需求， NRL90A（116 m³/h，极限 5 Pa）适合中等流量需求， NRL180A（200 m³/h，极限 5 Pa）适合较大流量需求。 全系列极限压力均可达 5 Pa，满足干燥洁净真空应用。
• 工艺介质特性：NRL 系列标准件经过 耐腐蚀表面处理， 可有效减少腐蚀性气体（如 CVD 工艺中的卤素气体、刻蚀气体等）对零部件的侵蚀， 适合半导体、镀膜等腐蚀性气体工况。
• 运行环境与配置需求：NRL 系列运行 低噪音、低振动， 可选配 消音器及流量、温度传感器 等， 可根据现场需求进行定制化配置。采用水冷设计，冷却水进水压力 0.1‑0.3 MPa，流量 5 L/min。

免费选型支持：您只需提供用气设备类型、抽速需求、极限压力要求及工艺介质特性， 御之冠技术人员将为您出具专业选型建议。

NRL 系列是干式真空泵，采用无油腔体设计，排气完全无油， 适用于对真空洁净度要求严格的各类工业应用。零部件经过耐腐蚀表面处理， 对腐蚀性气体具备优异的耐受性。典型应用包括：

• CVD 化学气相沉积：半导体、光伏行业的 CVD 工艺配套
• 刻蚀工艺：半导体干法刻蚀、等离子刻蚀等工艺配套
• 溅射镀膜：PVD 溅射镀膜、磁控溅射等工艺配套
• 真空热处理：真空退火、真空钎焊等热处理工艺
• 液晶注入：LCD 面板制造中的液晶注入工艺
• 冷冻干燥：制药、食品等行业的冷冻干燥设备配套
• 可作为前级泵：与分子泵、罗茨泵配套使用，作为高真空系统的前级泵

NRL 系列凭借无油洁净、耐腐蚀处理、低噪音低振动等优势， 成为需要洁净真空、耐腐蚀的各类半导体和工业应用的理想选择。

NRL 系列采用干式（无油）压缩技术，通过非接触式转子结构实现气体的吸入、压缩和排出。 泵腔完全无油运行，无需工作液，确保获得洁净真空。 具有以下显著优势：

• 完全无油洁净：排气完全无油，适合半导体、CVD、刻蚀、 镀膜等对真空洁净度要求严格的行业。
• 耐腐蚀表面处理：零部件经过 高硬度防腐蚀表面处理， 有效减少腐蚀性气体对零部件的侵蚀，延长使用寿命。
• 低噪音、低振动：优化的结构设计，运行噪音低、振动小， 改善工作环境，适合对噪音敏感的生产车间。
• 优异的均热化性能：在低温下具备优异的均热化性能， 尤其适合需提高流量、缩短排气时间的关键腔体。
• 可作为前级泵使用：可作为分子泵或罗茨泵的前级泵， 满足高真空系统的配套需求。
• 灵活的可选配置：可选配 消音器及流量、温度传感器 等， 满足不同工况的监测与控制需求。
• 最大吸入压力 1 Atm：可在大气压下直接启动和运行， 使用灵活，无需预抽真空。

对比油润滑旋片泵：NRL 系列采用干式无油设计，无需真空泵油和油过滤器， 排气洁净无油，维护成本低，且具备耐腐蚀处理，适合半导体、CVD 等腐蚀性气体工况。

NRL 系列采用干式无油设计，日常维护工作较少，主要包括以下项目：

• 检查齿轮箱油位与油质：NRL 系列仅齿轮箱需要润滑油， 定期检查齿轮箱油位和油质，不足时添加，建议每 2,000‑3,000 小时 检查一次。
• 检查进气口过滤器：定期检查进气口过滤器状态，若积尘严重需及时清洁或更换， 防止杂质进入泵腔，建议每 3‑6 个月 检查一次。
• 检查冷却水系统：NRL 系列采用水冷设计（冷却水进水压力 0.1‑0.3 MPa，压差 ≥0.1 MPa，流量 5 L/min）， 定期检查冷却水流量、温度和管路状态，确保散热良好。
• 检查氮气系统：若配置氮气吹扫功能（供气压力 0.1‑0.5 MPa，调节压力 0.05‑0.1 MPa，流量 5 SLM）， 定期检查氮气供气压力和流量是否正常。
• 检查密封件：定期检查轴封状态，若发现泄漏需及时更换。

维护成本：由于泵腔无需润滑油（仅齿轮箱需换油）、无油过滤器等耗材， 且耐腐蚀表面处理延长了零部件寿命，NRL 系列的维护成本远低于油润滑真空泵。 低噪音、低振动设计也减少了设备长期运行的损耗。

保养件供应：御之冠供应爱发科原装保养件（含齿轮箱润滑油、密封件、轴承、过滤器等）， 可根据需要订购。您也可以联系御之冠售后服务部门，由技术人员指导或上门完成保养。

完全可以。 NRL 系列干式真空泵可作为前级泵，配合分子泵、罗茨泵等， 构建高真空干式机组，满足半导体、CVD、镀膜等行业对高真空、洁净真空的严格要求。

定制范围包括但不限于：

• 分子泵机组：NRL 系列 + 分子泵组合， 实现超高真空，适用于半导体刻蚀、CVD 等精密工艺。
• 罗茨干式机组：NRL 系列 + NB 罗茨泵组合， 实现更大抽速和更高极限真空，适用于大流量高真空工艺。
• 干式真空系统：根据工艺需求提供完整的系统方案设计， 配套组件（真空阀、真空计、管道、控制系统）及调试服务。
• 全自动控制系统：根据工艺需求提供 PLC 自动控制、 压力闭环控制、多泵自动轮值与切换等配套方案。

您只需提出工艺需求，御之冠负责选型、设计、装配、调试、售后的全流程服务。

御之冠作为爱发科真空泵核心渠道商，供应爱发科旗下全系列真空泵产品——除了页面展示的 NRL 系列外，爱发科还有 VDN 系列、GLD 系列、VSN 系列、PVD 系列、NB 系列等均有销售，覆盖油润滑旋片泵、干式真空泵、罗茨泵、分子泵等多种技术类型，可满足从粗真空到高真空、从小流量到大流量、从通用工业到精密分析的各类工况需求。如 NRL 系列无法满足您的特定要求，欢迎直接联系我们，我们将为您精准推荐最匹配的爱发科产品型号。

关于正品：御之冠作为爱发科真空泵核心渠道商，NRL 系列 原厂直供， 货源可追溯，正品保障。如您对货源有疑虑，可联系我们核实渠道信息。

关于货期：NRL 系列干式泵属于非常用型号，需根据具体型号、规格及配置确认货期，具体发货期限请直接咨询我们确认。

关于质保：提供 12 个月质保期（从发货之日起计算）， 质保期内因产品质量问题导致的故障，免费维修或更换。同时御之冠提供长期技术支持与售后保养服务。